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  Electron induced chemical nanolithography with self-assembled monolayers

Geyer, W., Stadler, V., Eck, W., Gölzhäuser, A., Grunze, M., Sauer, M., et al. (2001). Electron induced chemical nanolithography with self-assembled monolayers. Journal of Vacuum Science and Technology B, 19(6), 2732-2735. doi:10.1116/1.1421560.

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Basisdaten

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Genre: Zeitschriftenartikel

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JVacuumSciTechnolB _19_2001_2732.pdf (beliebiger Volltext), 455KB
 
Datei-Permalink:
-
Name:
JVacuumSciTechnolB _19_2001_2732.pdf
Beschreibung:
-
OA-Status:
Sichtbarkeit:
Eingeschränkt (Max Planck Institute for Medical Research, MHMF; )
MIME-Typ / Prüfsumme:
application/pdf
Technische Metadaten:
Copyright Datum:
-
Copyright Info:
-
Lizenz:
-

Externe Referenzen

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externe Referenz:
http://avs.scitation.org/doi/pdf/10.1116/1.1421560 (beliebiger Volltext)
Beschreibung:
-
OA-Status:
externe Referenz:
https://doi.org/10.1116/1.1421560 (beliebiger Volltext)
Beschreibung:
-
OA-Status:

Urheber

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 Urheber:
Geyer, W., Autor
Stadler, V., Autor
Eck, W., Autor
Gölzhäuser, A., Autor
Grunze, M.1, Autor           
Sauer, M., Autor
Weimann, T., Autor
Hinze, P., Autor
Affiliations:
1Cellular Biophysics, Max Planck Institute for Medical Research, Max Planck Society, ou_2364731              

Inhalt

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Schlagwörter: -
 Zusammenfassung: We demonstrate a simple scheme to generate chemical surface nanostructures. Electron-beam writing is used to locally modify the terminal nitro functionality in self-assembled monolayers of 4′-nitro-1,1′-biphenyl-4-thiol to amino groups, while the underlying aromatic layer is dehydrogenated and cross linked. Using low energy electron proximity printing and conventional electron-beam lithography with a beam energy of 2.5 keV and doses from 2500 to 50 000 μC/cm2, templates of reactive amino sites with lateral dimensions down to ∼20 nm could be fabricated. The templates were used for the surface immobilization of fluorinated carboxylic acid anhydrides and rhodamine dyes. The molecular structures were then imaged and analyzed by atomic force and scanning confocal fluorescence microscopy.

Details

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Sprache(n): eng - English
 Datum: 2001-06-012001-10-082001-12-142001
 Publikationsstatus: Erschienen
 Seiten: 4
 Ort, Verlag, Ausgabe: -
 Inhaltsverzeichnis: -
 Art der Begutachtung: Expertenbegutachtung
 Identifikatoren: DOI: 10.1116/1.1421560
 Art des Abschluß: -

Veranstaltung

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Entscheidung

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Projektinformation

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Quelle 1

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Titel: Journal of Vacuum Science and Technology B
  Andere : JVST B
  Andere : J. Vac. Sci. Techn. B
Genre der Quelle: Zeitschrift
 Urheber:
Affiliations:
Ort, Verlag, Ausgabe: New York : Published by AVS through the American Institute of Physics
Seiten: - Band / Heft: 19 (6) Artikelnummer: - Start- / Endseite: 2732 - 2735 Identifikator: ISSN: 0734-2101
CoNE: https://pure.mpg.de/cone/journals/resource/954928495416