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  Spokes in high power impulse magnetron sputtering plasmas

Hecimovic, A., & Keudell, A. v. (2018). Spokes in high power impulse magnetron sputtering plasmas. Journal of Physics D: Applied Physics, 51: 453001. doi:10.1088/1361-6463/aadaa1.

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Basisdaten

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Datensatz-Permalink: https://hdl.handle.net/21.11116/0000-0002-1BED-6 Versions-Permalink: https://hdl.handle.net/21.11116/0000-0004-BD6D-E
Genre: Zeitschriftenartikel
Untertitel : Topical Review

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hecimovic_spokes.pdf (Ergänzendes Material), 5MB
 
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https://hdl.handle.net/21.11116/0000-0002-9753-6
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Externe Referenzen

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Urheber

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 Urheber:
Hecimovic, A.1, 2, Autor           
Keudell, A. von2, Autor
Affiliations:
1ITER Technology & Diagnostics (ITED), Max Planck Institute for Plasma Physics, Max Planck Society, ou_1856290              
2External Organizations, ou_persistent22              

Inhalt

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Details

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Sprache(n): eng - English
 Datum: 2018
 Publikationsstatus: Erschienen
 Seiten: 15 p.
 Ort, Verlag, Ausgabe: -
 Inhaltsverzeichnis: -
 Art der Begutachtung: Expertenbegutachtung
 Identifikatoren: DOI: 10.1088/1361-6463/aadaa1
 Art des Abschluß: -

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Entscheidung

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Projektinformation

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Quelle 1

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Titel: Journal of Physics D: Applied Physics
  Kurztitel : J. Phys. D: Appl. Phys.
Genre der Quelle: Zeitschrift
 Urheber:
Affiliations:
Ort, Verlag, Ausgabe: Bristol : IOP Publishing
Seiten: - Band / Heft: 51 Artikelnummer: 453001 Start- / Endseite: - Identifikator: ISSN: 0022-3727
CoNE: https://pure.mpg.de/cone/journals/resource/0022-3727