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  A flexible method for the preparation of thin film samples for in situ TEM characterization combining shadow-FIB milling and electron beam-assisted etching

Liebig, J. P., Goken, M., Richter, G., Mackovic, M., Przybilla, T., Spiecker, E., Pierron, O. N., & Merle, B. (2016). A flexible method for the preparation of thin film samples for in situ TEM characterization combining shadow-FIB milling and electron beam-assisted etching. Ultramicroscopy, 171, 82-88. doi:10.1016/j.ultramic.2016.09.004.

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基本情報

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アイテムのパーマリンク: https://hdl.handle.net/21.11116/0000-0002-C355-2 版のパーマリンク: https://hdl.handle.net/21.11116/0000-0002-C356-1
資料種別: 学術論文

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作成者

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 作成者:
Liebig, J. P.1, 著者
Goken, M.1, 著者
Richter, Gunther2, 著者           
Mackovic, M.3, 著者
Przybilla, T.3, 著者
Spiecker, E.3, 著者
Pierron, O. N.4, 著者
Merle, B.1, 著者
所属:
1Department of Materials Science and Engineering, Institute I, Friedrich-Alexander-Universität Erlangen-Nürnberg (FAU), Martensstr. 5, 91058 E rlangen, Germany, ou_persistent22              
2Central Scientific Facility Materials, Max Planck Institute for Intelligent Systems, Max Planck Society, ou_1497640              
3Institute of Micro, and Nanostructure Research & Center for Nanoanalysis and Electron Microscopy (CENEM), Friedrich-Alexander-Universität Erlangen- Nürnberg (FAU), Cauerstr. 6, 91058 Erlangen, Germany, ou_persistent22              
4G. W. Woodruff School of Mechanical Engineering, Georgia Institute of Technology, Atlanta, GA 30332-0405, USA, ou_persistent22              

内容説明

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キーワード: ZWE Materialien
 要旨: -

資料詳細

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言語: eng - English
 日付: 2016-09-122016-12
 出版の状態: 出版
 ページ: -
 出版情報: -
 目次: -
 査読: 査読あり
 識別子（DOI, ISBNなど）: DOI: 10.1016/j.ultramic.2016.09.004
BibTex参照ID: RN22
 学位: -

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訴訟

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Project information

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出版物 1

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出版物名: Ultramicroscopy
  省略形 : Ultramicroscopy
種別: 学術雑誌
 著者・編者:
所属:
出版社, 出版地: Amsterdam : North-Holland
ページ: - 巻号: 171 通巻号: - 開始・終了ページ: 82 - 88 識別子（ISBN, ISSN, DOIなど）: ISSN: 0304-3991
CoNE: https://pure.mpg.de/cone/journals/resource/954925512451