Heiler, A., Friedl, R., & Fantz, U. (2019). Determination of the EEDF by a Langmuir probe AC technique in low pressure ICPs. Talk presented at DPG-Frühjahrstagung 2019 der Sektion Materie und Kosmos (SMuK). München. 2019-03-17 - 2019-03-22.