Fröhler, C., Friedl, R., Briefi, S., & Fantz, U. (2019). Measurements of VUV/UV photon fluxes in planar ICP discharges at low pressure. Talk presented at DPG-Frühjahrstagung 2019 der Sektion Materie und Kosmos (SMuK). München. 2019-03-17 - 2019-03-22.