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  Suitable test structures for submicron ion beam analysis

Spemann, D., Reinert, T., Vogt, J., Dobrev, D., & Butz, T. (2002). Suitable test structures for submicron ion beam analysis. Nuclear Instruments and Methods in Physics Research Section B: Beam Interactions with Materials and Atoms, 190(1-4), 312-317. doi:10.1016/S0168-583X(01)01253-8.

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Basisdaten

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Datensatz-Permalink: https://hdl.handle.net/21.11116/0000-0004-C572-D Versions-Permalink: https://hdl.handle.net/21.11116/0000-0004-C573-C
Genre: Zeitschriftenartikel

Externe Referenzen

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Urheber

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 Urheber:
Spemann, D.1, Autor
Reinert, Tilo1, Autor           
Vogt, J.1, Autor
Dobrev, D.2, Autor
Butz, T.1, Autor
Affiliations:
1Nukleare Festkörperphysik, Fakultät für Physik und Geowissenschaften, University of Leipzig, Germany, ou_persistent22              
2Gesellschaft für Schwerionenforschung mbH, Darmstadt, Germany, ou_persistent22              

Inhalt

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Schlagwörter: Test sample; Semiconductor heterostructure; Nanowhisker; Submicron beam spot sizes; Submicron beam spot shape
 Zusammenfassung: For the precise determination of the sizes of submicron beam spots test structures with an excellent edge definition are required. For this purpose a semiconductor heterostructure consisting of an 1.62 @mm GaInP epi--layer grown on (001)...

Details

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Sprache(n): eng - English
 Datum: 2002-01-152002-05
 Publikationsstatus: Erschienen
 Seiten: -
 Ort, Verlag, Ausgabe: -
 Inhaltsverzeichnis: -
 Art der Begutachtung: -
 Identifikatoren: DOI: 10.1016/S0168-583X(01)01253-8
BibTex Citekey: Spemann:2002
 Art des Abschluß: -

Veranstaltung

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Entscheidung

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Projektinformation

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Quelle 1

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Titel: Nuclear Instruments and Methods in Physics Research Section B: Beam Interactions with Materials and Atoms
  Kurztitel : NIM B
Genre der Quelle: Zeitschrift
 Urheber:
Affiliations:
Ort, Verlag, Ausgabe: Amsterdam : Elsevier B.V.
Seiten: - Band / Heft: 190 (1-4) Artikelnummer: - Start- / Endseite: 312 - 317 Identifikator: ISSN: 0168-583X
CoNE: https://pure.mpg.de/cone/journals/resource/954925484704