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  Deposition of Tungsten Thin Films by Magnetron Sputtering for Large-Scale Production of Tungsten-Based Transition-Edge Sensors

Abdelhameed, A. H., Angloher, G., Bauer, P., Bento, A., Bertoldo, E., Canonica, L., et al. (2020). Deposition of Tungsten Thin Films by Magnetron Sputtering for Large-Scale Production of Tungsten-Based Transition-Edge Sensors. Journal of Low Temperature Physics, 199(1-2), 401-407. doi:10.1007/s10909-020-02357-x.

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Basisdaten

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Datensatz-Permalink: https://hdl.handle.net/21.11116/0000-0005-C55B-7 Versions-Permalink: https://hdl.handle.net/21.11116/0000-000C-F77E-1
Genre: Zeitschriftenartikel

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:
Abdelhameed_Deposition.pdf (beliebiger Volltext), 402KB
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https://hdl.handle.net/21.11116/0000-0005-C55E-4
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Abdelhameed_Deposition.pdf
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Grün
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Externe Referenzen

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externe Referenz:
https://doi.org/10.1007/s10909-020-02357-x (Verlagsversion)
Beschreibung:
Open Access
OA-Status:
Keine Angabe

Urheber

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 Urheber:
Abdelhameed, A. H.1, Autor
Angloher, G.1, Autor
Bauer, P.1, Autor
Bento, A.1, Autor
Bertoldo, E.1, Autor
Canonica, L.1, Autor
Fuchs, D.1, Autor
Hauff, D.1, Autor
Ferreiro Iachellini, N.1, Autor
Mancuso, M.1, Autor
Petricca, F.1, Autor
Pröbst, F.1, Autor
Riesch, J.2, Autor           
Rothe, J.1, Autor
Affiliations:
1External Organizations, ou_persistent22              
2Plasma Edge and Wall (E2M), Max Planck Institute for Plasma Physics, Max Planck Society, ou_1856327              

Inhalt

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Schlagwörter: Konferenzbeitrag
 Zusammenfassung: -

Details

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Sprache(n): eng - English
 Datum: 20192020
 Publikationsstatus: Online veröffentlicht
 Seiten: 7 p.
 Ort, Verlag, Ausgabe: -
 Inhaltsverzeichnis: -
 Art der Begutachtung: Expertenbegutachtung
 Identifikatoren: DOI: 10.1007/s10909-020-02357-x
 Art des Abschluß: -

Veranstaltung

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Entscheidung

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Projektinformation

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Quelle 1

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Titel: Journal of Low Temperature Physics
  Untertitel : 18th International Workshop on Low Temperature Detectors (LTD-18), Milano, 2019-07-22 to 2019-07-26
Genre der Quelle: Zeitschrift
 Urheber:
Affiliations:
Ort, Verlag, Ausgabe: London : Springer Nature
Seiten: - Band / Heft: 199 (1-2) Artikelnummer: - Start- / Endseite: 401 - 407 Identifikator: ISSN: 0022-2291
CoNE: https://pure.mpg.de/cone/journals/resource/954925414929