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  Height calibration of optical lever atomic force microscopes by simple laser interferometry

Jaschke, M., & Butt, H.-J. (1995). Height calibration of optical lever atomic force microscopes by simple laser interferometry. Review of Scientific Instruments, 66(2), 1258-1259. doi:10.1063/1.1146018.

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基本情報

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アイテムのパーマリンク: https://hdl.handle.net/21.11116/0000-0007-F071-A 版のパーマリンク: https://hdl.handle.net/21.11116/0000-0007-F072-9
資料種別: 学術論文

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作成者

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 作成者:
Jaschke, Manfred1, 著者           
Butt, Hans-Jürgen1, 著者           
所属:
1Department of Biophysical Chemistry, Max Planck Institute of Biophysics, Max Planck Society, ou_2068289              

内容説明

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キーワード: -
 要旨: A new and simple interferometric method for height calibration of AFM piezo scanners is presented. Except for a small mirror no additional equipment is required since the fixed wavelength of the laser diode is used as a calibration standard. The calibration is appliable in the range between several ten nm and several μm. Besides vertical calibration many problems of piezo elements like hysteresis, nonlinearity, creep, derating, etc. and their dependence on scan parameters or temperature can be investigated.

資料詳細

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言語: eng - English
 日付: 1994-07-241994-10-251998-06-041995
 出版の状態: 出版
 ページ: 2
 出版情報: -
 目次: -
 査読: 査読あり
 識別子（DOI, ISBNなど）: DOI: 10.1063/1.1146018
 学位: -

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訴訟

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出版物 1

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出版物名: Review of Scientific Instruments
  省略形 : Rev. Sci. Instrum.
種別: 学術雑誌
 著者・編者:
所属:
出版社, 出版地: Melville, NY : AIP Publishing
ページ: - 巻号: 66 (2) 通巻号: - 開始・終了ページ: 1258 - 1259 識別子（ISBN, ISSN, DOIなど）: ISSN: 0034-6748
CoNE: https://pure.mpg.de/cone/journals/resource/991042742033452