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  Spectroscopic investigations of YAG-laser-driven microdroplet-tin plasma sources of extreme ultraviolet radiation for nanolithography

Versolato, O., Bayerle, A., Bayraktar, M., Behnke, L., Bekker, H., Bouza, Z., et al. (2020). Spectroscopic investigations of YAG-laser-driven microdroplet-tin plasma sources of extreme ultraviolet radiation for nanolithography. Journal of Physics: Conference Series, 1412: 192006. doi:10.1088/1742-6596/1412/19/192006.

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Basisdaten

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Datensatz-Permalink: https://hdl.handle.net/21.11116/0000-0008-1982-9 Versions-Permalink: https://hdl.handle.net/21.11116/0000-0008-1983-8
Genre: Zeitschriftenartikel

Externe Referenzen

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Urheber

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 Urheber:
Versolato, O.1, Autor
Bayerle, A.1, Autor
Bayraktar, M.1, Autor
Behnke, L.1, Autor
Bekker, H.2, Autor           
Bouza, Z.1, Autor
Colgan, J.1, Autor
Crespo López Urrutia, J. R.2, Autor           
Deuzeman, M. J.1, Autor
Hoekstra, R.1, Autor
Kurilovich, D.1, Autor
Liu, B.1, Autor
Meijer, R.1, Autor
Neukirch, A.1, Autor
Poirier, L.1, Autor
Rai, S.1, Autor
Ryabtsev, A.1, Autor
Scheers, J.1, Autor
Schupp, R.1, Autor
Sheil, J.1, Autor
Torretti, F.1, AutorUbachs, W.1, AutorWitte, S.1, Autor mehr..
Affiliations:
1external, ou_persistent22              
2Division Prof. Dr. Thomas Pfeifer, MPI for Nuclear Physics, Max Planck Society, ou_2025284              

Inhalt

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Schlagwörter: -
 Zusammenfassung: Highly charged tin ions are the sources of extreme ultraviolet (EUV) light at 13.5-nm wavelength in laser-produced transient plasmas for next-generation nanolithography. Generating this EUV light at the required power, reliability, and stability however presents a formidable task that combines industrial innovations with challenging scientific questions. We will present work on the spectroscopy of tin ions in and out of YAG-laser-driven plasma and present a surprising answer to the key question: what makes that light?

Details

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Sprache(n):
 Datum: 2020
 Publikationsstatus: Online veröffentlicht
 Seiten: -
 Ort, Verlag, Ausgabe: -
 Inhaltsverzeichnis: -
 Art der Begutachtung: -
 Identifikatoren: DOI: 10.1088/1742-6596/1412/19/192006
 Art des Abschluß: -

Veranstaltung

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Entscheidung

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Projektinformation

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Quelle 1

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Titel: Journal of Physics: Conference Series
Genre der Quelle: Zeitschrift
 Urheber:
Affiliations:
Ort, Verlag, Ausgabe: Bristol : IOP Publishing
Seiten: - Band / Heft: 1412 Artikelnummer: 192006 Start- / Endseite: - Identifikator: ISSN: 1742-6588
CoNE: https://pure.mpg.de/cone/journals/resource/111097776606042