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  Spontaneous fluctuations in a plasma ion assisted deposition – correlation between deposition conditions and vanadium oxide thin film growth

Frank, A., Dias, M., Hieke, S. W., Kruth, A., & Scheu, C. (2021). Spontaneous fluctuations in a plasma ion assisted deposition – correlation between deposition conditions and vanadium oxide thin film growth. Thin Solid Films, 722: 138574. doi:10.1016/j.tsf.2021.138574.

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Basisdaten

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Genre: Zeitschriftenartikel

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:
1-s2.0-S0040609021000572-main.pdf (Verlagsversion), 6MB
Name:
1-s2.0-S0040609021000572-main.pdf
Beschreibung:
Open Access
OA-Status:
Sichtbarkeit:
Öffentlich
MIME-Typ / Prüfsumme:
application/pdf / [MD5]
Technische Metadaten:
Copyright Datum:
2021
Copyright Info:
The Authors

Externe Referenzen

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Urheber

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 Urheber:
Frank, Anna1, Autor           
Dias, Miguel2, Autor           
Hieke, Stefan Werner1, Autor           
Kruth, Angela3, Autor           
Scheu, Christina1, 4, Autor           
Affiliations:
1Nanoanalytics and Interfaces, Independent Max Planck Research Groups, Max-Planck-Institut für Eisenforschung GmbH, Max Planck Society, ou_2054294              
2INP Greifswald – Leibniz Institute for Plasma Science and Technology, 17489 Greifswald, Germany, ou_persistent22              
3Leibniz Institute for Plasma Science and Technology, 17489 Greifswald, Germany, ou_persistent22              
4Materials Analytics, RWTH Aachen University, Kopernikusstrasse 10, Aachen, Germany, ou_persistent22              

Inhalt

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Details

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Sprache(n): eng - English
 Datum: 2021-02-072021-03-31
 Publikationsstatus: Erschienen
 Seiten: -
 Ort, Verlag, Ausgabe: -
 Inhaltsverzeichnis: -
 Art der Begutachtung: -
 Identifikatoren: DOI: 10.1016/j.tsf.2021.138574
 Art des Abschluß: -

Veranstaltung

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Entscheidung

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Projektinformation

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Quelle 1

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Titel: Thin Solid Films
  Kurztitel : Thin Solid Films
Genre der Quelle: Zeitschrift
 Urheber:
Affiliations:
Ort, Verlag, Ausgabe: -
Seiten: 9 Band / Heft: 722 Artikelnummer: 138574 Start- / Endseite: - Identifikator: ISSN: 0040-6090
CoNE: https://pure.mpg.de/cone/journals/resource/954925449792