Single-step nanopatterning with a non-contact scanning force microscope by 
electrically induced local chemical vapour deposition

Croitoru, M. D.; Höchst, A.; Bertsche, G.; Krauss, S.; Roth, S.; Kern, D. P.

Single-step nanopatterning with a non-contact scanning force microscope by electrically induced local chemical vapour deposition

Croitoru, M. D., Höchst, A., Bertsche, G., Krauss, S., Roth, S., & Kern, D. P. (2003). Single-step nanopatterning with a non-contact scanning force microscope by electrically induced local chemical vapour deposition. Microelectronic Engineering, 67-68, 696-701.

Item is 公開

表示: 全項目非表示: 全項目

基本情報

表示: 非表示:

アイテムのパーマリンク: https://hdl.handle.net/21.11116/0000-000E-F05F-9 版のパーマリンク: https://hdl.handle.net/21.11116/0000-000E-F060-6

資料種別: 学術論文

ファイル

表示: ファイル

作成者

表示:

非表示:

作成者:
Croitoru, M. D., 著者
Höchst, A., 著者
Bertsche, G., 著者
Krauss, S., 著者
Roth, S.¹, 著者
Kern, D. P., 著者

所属:
1Abteilung v. Klitzing, Former Departments, Max Planck Institute for Solid State Research, Max Planck Society, ou_3370504

内容説明

表示:

非表示:

キーワード: non-contact scanning force microscope, local CVD, single-step additive process, carbon nanotubes contact

要旨: -

資料詳細

表示:

非表示:

言語: eng - English

日付: 出版: 2003

出版の状態: 出版

ページ: -

出版情報: -

目次: -

査読: -

識別子（DOI, ISBNなど）: eDoc: 64770
ISI: 000183842100096

学位: -

訴訟

表示:

Project information

表示:

出版物 1

表示:

非表示:

出版物名: Microelectronic Engineering

種別: 学術雑誌

著者・編者:

所属:

出版社, 出版地: -

ページ: - 巻号: 67-68 通巻号: - 開始・終了ページ: 696 - 701 識別子（ISBN, ISSN, DOIなど）: ISSN: 0167-9317

アイテム詳細

基本情報

ファイル

関連URL

作成者

内容説明

資料詳細

関連イベント

訴訟

Project information

出版物 1