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Abstract:
Verfahren und Beleuchtungs- und Detektionsvorrichtung zum Optimieren von Parametern eines physikalischen Lichtausbreitungs-Modells, insbesondere eines Lichtausbreitungs-Modells bei der Laser-Mikroskopie im Rasterverfahren, umfassend die folgenden Schritte:a) Vorhalten eines physikalischen Modells MLichtder Lichtausbreitung in einem optischen System, insbesondere der Lichtausbreitung in einem Mikroskop;b) Einstrahlen einer Eingangs-Lichtverteilung I0mit einer Beleuchtungseinheit in einen Anregungspfad des optischen Systems;c) Durchqueren der Lichtverteilung I0durch einen Streukörper A, wobei der Streukörper A in dem Anregungspfad des optischen Systems platziert ist und die Eingangs-Lichtverteilung I0zu einer Reflexions-Lichtverteilung IREabändert;d) Aufzeichnen der Reflexions-Lichtverteilung IREoder Transmissions-Lichtverteilung ITR;e) Übergabe der aufgezeichneten Reflexions-Lichtverteilung IREan das Modell MLicht;f) Berechnung von Verzerrungsparametern V des Modells MLichtbasierend auf der Reflexions-Lichtverteilung IRE, wobei die Verzerrungsparameter V insbesondere den Streukörper A charakterisieren, wobei die Reflexions-Lichtverteilung IREzumindest teilweise als Fluoreszenz-Strahlung von einem fluoreszenzfähigen Körper innerhalb des Streukörpers reflektiert wird.
