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  Laser direct-write Al deposition on Si, GaAs and diamond from trialkylamine-alane precursors.

Foulon, F., Lehmann, O., & Stuke, M. (1993). Laser direct-write Al deposition on Si, GaAs and diamond from trialkylamine-alane precursors. Applied Surface Science, 69(1-4), 87-93.

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Basisdaten

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Datensatz-Permalink: https://hdl.handle.net/11858/00-001M-0000-0013-0770-6 Versions-Permalink: https://hdl.handle.net/11858/00-001M-0000-0027-E024-1
Genre: Zeitschriftenartikel

Externe Referenzen

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Urheber

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 Urheber:
Foulon, F., Autor
Lehmann, O.1, Autor           
Stuke, M.1, Autor           
Affiliations:
1Research Group of Laser Chemical Processing, MPI for biophysical chemistry, Max Planck Society, ou_578609              

Inhalt

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Details

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Sprache(n): eng - English
 Datum: 1993-05
 Publikationsstatus: Erschienen
 Seiten: -
 Ort, Verlag, Ausgabe: -
 Inhaltsverzeichnis: -
 Art der Begutachtung: Expertenbegutachtung
 Identifikatoren: eDoc: 276303
ISI: A1993LA07600017
 Art des Abschluß: -

Veranstaltung

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Entscheidung

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Projektinformation

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Quelle 1

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Titel: Applied Surface Science
  Alternativer Titel : Appl. Surf. Sci.
Genre der Quelle: Zeitschrift
 Urheber:
Affiliations:
Ort, Verlag, Ausgabe: -
Seiten: - Band / Heft: 69 (1-4) Artikelnummer: - Start- / Endseite: 87 - 93 Identifikator: ISSN: 0169-4332