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Titel:
Materials Issues and Modeling for Device Nanofabrication
Genre der Quelle:
Buch
Urheber:
Merhari, L., Herausgeber
Wille, L. T., Herausgeber
Gonsalves, K. E., Herausgeber
Gyure, M. F., Herausgeber
Matsui, S., Herausgeber
Whitman, L. J., Herausgeber
Affiliations:
-
Ort, Verlag, Ausgabe:
Warrendale, PA : Materials Research Society
Seiten:
-
Band / Heft:
-
Artikelnummer:
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Start- / Endseite:
215 - 222
Identifikator:
ISBN: 1-55899-492-0