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  The mechanism of the anodic oxidation of silicon in acidic fluoride solutions revisited

Gerischer, H., Allongue, P., & Costa Kieling, V. (1993). The mechanism of the anodic oxidation of silicon in acidic fluoride solutions revisited. Berichte der Bunsen-Gesellschaft für Physikalische Chemie, 97(6), 753-756. doi:10.1002/bbpc.19930970602.

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Basisdaten

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Genre: Zeitschriftenartikel

Externe Referenzen

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Urheber

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 Urheber:
Gerischer, Heinz1, Autor           
Allongue, Philippe1, Autor           
Costa Kieling, Virginia1, Autor           
Affiliations:
1Physical Chemistry, Fritz Haber Institute, Max Planck Society, ou_634546              

Inhalt

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Schlagwörter: electrochemistry; etching; interfaces; semiconductors; transform infrared-spectroscopy; n-type silicon; HF treatment; hydrogen termination; surface-morphology; Si(111) surfaces; Si; adsorption; water; Si(100)
 Zusammenfassung: The present experience of the electrochemical dissolution of silicon and previous assumptions upon the mechanism are briefly reviewed. A new model is developed which explains how the coverage of the surface by hydrogen can be maintained in spite of the continuous anodic dissolution.

Details

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Sprache(n): eng - English
 Datum: 1993-06
 Publikationsstatus: Erschienen
 Seiten: -
 Ort, Verlag, Ausgabe: -
 Inhaltsverzeichnis: -
 Art der Begutachtung: Expertenbegutachtung
 Identifikatoren: eDoc: 430379
DOI: 10.1002/bbpc.19930970602
 Art des Abschluß: -

Veranstaltung

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Entscheidung

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Projektinformation

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Quelle 1

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Titel: Berichte der Bunsen-Gesellschaft für Physikalische Chemie
  Alternativer Titel : Ber. Bunsenges. Phys. Chem.
Genre der Quelle: Zeitschrift
 Urheber:
Affiliations:
Ort, Verlag, Ausgabe: -
Seiten: - Band / Heft: 97 (6) Artikelnummer: - Start- / Endseite: 753 - 756 Identifikator: ISSN: 0005-9021