Resonant interferometric lithography beyond the diffraction limit

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Resonant interferometric lithography beyond the diffraction limit

Evers, J., Kiffner, M., & Zubairy, M. S. (2008). Resonant interferometric lithography beyond the diffraction limit.

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アイテムのパーマリンク: https://hdl.handle.net/11858/00-001M-0000-0011-7AF5-3 版のパーマリンク: https://hdl.handle.net/11858/00-001M-0000-0011-7AF6-1

資料種別: 会議論文

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作成者:
Evers, J.¹, 著者
Kiffner, M.¹, 著者
Zubairy, M. S.¹, 著者

所属:
1Division Prof. Dr. Christoph H. Keitel, MPI for Nuclear Physics, Max Planck Society, ou_904546

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言語: eng - English

日付: 出版: 2008

出版の状態: 出版

ページ: -

出版情報: -

目次: -

査読: -

識別子（DOI, ISBNなど）: eDoc: 394547

学位: -