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Development of a metrology to characterize EUV optics at 13.5nm

Vongehr, M., Predehl, P., & Hasinger, G. (2006). Development of a metrology to characterize EUV optics at 13.5nm. In J. T. Sheridan, & F. Wyrowski (Eds.), Photon Management II (pp. 618709-1-618709-9). Bellingham, Wash., USA: The International Society for Optical Engineering.

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Basisdaten

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Datensatz-Permalink: https://hdl.handle.net/11858/00-001M-0000-0011-D2E1-9 Versions-Permalink: https://hdl.handle.net/11858/00-001M-0000-0011-D2E2-7

Genre: Konferenzbeitrag

Dateien

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Externe Referenzen

Urheber

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Urheber:
Vongehr, Monika¹, Autor
Predehl, Peter¹, Autor
Hasinger, Günther¹, Autor

Affiliations:
1High Energy Astrophysics, MPI for Extraterrestrial Physics, Max Planck Society, ou_159890

Inhalt

Details

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Sprache(n): eng - English

Datum: Erschienen: 2006-10

Publikationsstatus: Erschienen

Seiten: -

Ort, Verlag, Ausgabe: -

Inhaltsverzeichnis: -

Art der Begutachtung: -

Identifikatoren: eDoc: 289826
DOI: 10.1117/12.662816
Anderer: PH 50/160, p.618709-1-9

Art des Abschluß: -

Veranstaltung

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Titel: Photon Management II

Veranstaltungsort: Strasbourg, France

Start-/Enddatum: 2006-04-03 - 2006-04-04

Entscheidung

Projektinformation

Quelle 1

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Titel: Photon Management II

Genre der Quelle: Konferenzband

Urheber:
Sheridan, John T., Herausgeber
Wyrowski, Frank, Herausgeber

Affiliations:
-

Ort, Verlag, Ausgabe: Bellingham, Wash., USA : The International Society for Optical Engineering

Seiten: - Band / Heft: - Artikelnummer: - Start- / Endseite: 618709-1 - 618709-9 Identifikator: ISBN: 0-8194-6243-8

Quelle 2

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Titel: SPIE Proceedings Series

Genre der Quelle: Reihe

Urheber:

Affiliations:

Ort, Verlag, Ausgabe: -

Seiten: - Band / Heft: 6187 Artikelnummer: - Start- / Endseite: - Identifikator: -