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  Particle growth in hydrogen–methane plasmas

Shimizu, T., Jacob, W., Thomas, H., Morfill, G., Abe, T., Watanabe, Y., et al. (2006). Particle growth in hydrogen–methane plasmas. Thin Solid Films, 506, 652-655.

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Basisdaten

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Datensatz-Permalink: https://hdl.handle.net/11858/00-001M-0000-0011-D442-E Versions-Permalink: https://hdl.handle.net/11858/00-001M-0000-0011-D443-C
Genre: Konferenzbeitrag

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:
shimizu.pdf (beliebiger Volltext), 242KB
 
Datei-Permalink:
-
Name:
shimizu.pdf
Beschreibung:
-
OA-Status:
Sichtbarkeit:
Privat
MIME-Typ / Prüfsumme:
application/pdf
Technische Metadaten:
Copyright Datum:
-
Copyright Info:
-
Lizenz:
-

Externe Referenzen

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Urheber

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 Urheber:
Shimizu, T.1, Autor           
Jacob, W., Autor
Thomas, H.1, Autor           
Morfill, G.1, Autor           
Abe, T., Autor
Watanabe, Y., Autor
Sato, N., Autor
Affiliations:
1Theory and Complex Plasmas, MPI for Extraterrestrial Physics, Max Planck Society, ou_159894              

Inhalt

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Details

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Sprache(n): eng - English
 Datum: 2006-05-26
 Publikationsstatus: Erschienen
 Seiten: -
 Ort, Verlag, Ausgabe: -
 Inhaltsverzeichnis: -
 Art der Begutachtung: Expertenbegutachtung
 Identifikatoren: eDoc: 275508
DOI: 10.1016/j.tsf.2005.08.059
Anderer: 275508
 Art des Abschluß: -

Veranstaltung

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Titel: The Joint Meeting of 7th APCPST (Asia Pacific Conference on Plasma Science and Technology) and 17th SPSM (Symposium on Plasma Science for Materials) - 7th APCPST/17th SPSM
Veranstaltungsort: Fukuoka, Japan
Start-/Enddatum: 2004-06-29 - 2004-07-02

Entscheidung

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Projektinformation

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Quelle 1

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Titel: Thin Solid Films
Genre der Quelle: Zeitschrift
 Urheber:
Affiliations:
Ort, Verlag, Ausgabe: -
Seiten: - Band / Heft: 506 Artikelnummer: - Start- / Endseite: 652 - 655 Identifikator: ISSN: 0040-6090