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Zeitschriftenartikel

Readout of micromechanical cantilever sensor arrays by Fabry-Perot interferometry

MPG-Autoren
/persons/resource/persons47637

Berger,  Rüdiger
MPI for Polymer Research, Max Planck Society;

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Zitation

Wehrmeister, J., Fuss, A., Saurenbach, F., Berger, R., & Helm, M. (2007). Readout of micromechanical cantilever sensor arrays by Fabry-Perot interferometry. Review of Scientific Instruments, 78(10): 104105. doi:10.1063/1.2785028.


Zitierlink: http://hdl.handle.net/11858/00-001M-0000-000F-7E4F-3
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