Deutsch
 
Hilfe Datenschutzhinweis Impressum
  DetailsucheBrowse

Datensatz

DATENSATZ AKTIONENEXPORT

Freigegeben

Zeitschriftenartikel

The effect of deposition parameters and substrate surface condition on texture, morphology and stress in magnetron-sputter-deposited Cu thin films

MPG-Autoren
/persons/resource/persons75916

Okolo,  B.
Dept. Phase Transformations; Thermodynamics and Kinetics, Max Planck Institute for Intelligent Systems, Max Planck Society;

/persons/resource/persons75750

Lamparter,  P.
Dept. Phase Transformations; Thermodynamics and Kinetics, Max Planck Institute for Intelligent Systems, Max Planck Society;

/persons/resource/persons76284

Welzel,  U.
Dept. Phase Transformations; Thermodynamics and Kinetics, Max Planck Institute for Intelligent Systems, Max Planck Society;

/persons/resource/persons76249

Wagner,  T.
Central Scientific Facility Thin Film Laboratory, Max Planck Institute for Intelligent Systems, Max Planck Society;

/persons/resource/persons75858

Mittemeijer,  E.J.
Dept. Phase Transformations; Thermodynamics and Kinetics, Max Planck Institute for Intelligent Systems, Max Planck Society;
Universität Stuttgart, Institut für Materialwissenschaft;

Externe Ressourcen
Es sind keine externen Ressourcen hinterlegt
Volltexte (beschränkter Zugriff)
Für Ihren IP-Bereich sind aktuell keine Volltexte freigegeben.
Volltexte (frei zugänglich)
Es sind keine frei zugänglichen Volltexte in PuRe verfügbar
Ergänzendes Material (frei zugänglich)
Es sind keine frei zugänglichen Ergänzenden Materialien verfügbar
Zitation

Okolo, B., Lamparter, P., Welzel, U., Wagner, T., & Mittemeijer, E. (2005). The effect of deposition parameters and substrate surface condition on texture, morphology and stress in magnetron-sputter-deposited Cu thin films. Thin Solid Films, 474, 50-63.


Zitierlink: https://hdl.handle.net/11858/00-001M-0000-0010-27E6-7
Zusammenfassung
Es ist keine Zusammenfassung verfügbar