Mikrostruktur und Eigenschaften von Titannitrid/Siliciumnitrid-Schichten

Kauffmann, F.

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学位論文

Mikrostruktur und Eigenschaften von Titannitrid/Siliciumnitrid-Schichten

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Kauffmann, F.
Former Dept. Micro/Nanomechanics of Thin Films and Biological Systems, Max Planck Institute for Intelligent Systems, Max Planck Society;

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引用

Kauffmann, F. (2003). Mikrostruktur und Eigenschaften von Titannitrid/Siliciumnitrid-Schichten. PhD Thesis, Universität Stuttgart, Stuttgart.

引用: https://hdl.handle.net/11858/00-001M-0000-0010-2C56-1

要旨

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