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学術論文

Profile reconstruction in sputter depth profiling

MPS-Authors
/persons/resource/persons75598

Hofmann,  S.
Dept. Phase Transformations; Thermodynamics and Kinetics, Max Planck Institute for Intelligent Systems, Max Planck Society;

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引用

Hofmann, S. (2001). Profile reconstruction in sputter depth profiling. Thin Solid Films, 398, 336-342.


引用: https://hdl.handle.net/11858/00-001M-0000-0010-33E2-3
要旨
要旨はありません