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Zeitschriftenartikel

Effects of dielectric barrier discharges on silicon surfaces: Surface roughness, cleaning, and oxidation

MPG-Autoren
/persons/resource/persons125151

Giza,  M.
Adhesion and Thin Films, Interface Chemistry and Surface Engineering, Max-Planck-Institut für Eisenforschung GmbH, Max Planck Society;

/persons/resource/persons125161

Grundmeier,  G.
Christian Doppler Laboratory for Metal/Polymer Interfaces, Interface Chemistry and Surface Engineering, Max-Planck-Institut für Eisenforschung GmbH, Max Planck Society;

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Zitation

Michel, B., Giza, M., Krumrey, M., Eichler, M., Grundmeier, G., & Klages, C. P. (2009). Effects of dielectric barrier discharges on silicon surfaces: Surface roughness, cleaning, and oxidation. Journal of Applied Physics, 105(7): 073302 (9pp). doi:10.1063/1.3088872.


Zitierlink: https://hdl.handle.net/11858/00-001M-0000-0019-445D-B
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