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Zeitschriftenartikel

Analytical and numerical depth resolution functions in sputter profiling

MPG-Autoren
/persons/resource/persons75598

Hofmann,  S.
Emeriti and Others, Max Planck Institute for Intelligent Systems, Max Planck Society;

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Zitation

Hofmann, S., Liu, Y., Wang, J. Y., & Kovac, J. (2014). Analytical and numerical depth resolution functions in sputter profiling. Applied Surface Science, 314, 942-955. doi:10.1016/j.apsusc.2014.06.159.


Zitierlink: http://hdl.handle.net/11858/00-001M-0000-0023-DB28-F
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