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Zeitschriftenartikel

Sputter depth profiling: past, present, and future

MPG-Autoren
/persons/resource/persons75598

Hofmann,  Siegfried
Emeriti and Others, Max Planck Institute for Intelligent Systems, Max Planck Society;

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Zitation

Hofmann, S. (2014). Sputter depth profiling: past, present, and future. Surface and Interface Analysis, 46(10-11), 654-662. doi:10.1002/sia.5489.


Zitierlink: http://hdl.handle.net/11858/00-001M-0000-0024-B4BC-8
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