Wachstumsmechanismen bei der plasmagestützten Abscheidung von 
Kohlenwasserstoffschichten, eine in situ Ellipsometriestudie

Keudell, A. von

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Wachstumsmechanismen bei der plasmagestützten Abscheidung von Kohlenwasserstoffschichten, eine in situ Ellipsometriestudie

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Keudell, A. von
Surface Science (OP), Max Planck Institute for Plasma Physics, Max Planck Society;

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Keudell, A. v.(1996). Wachstumsmechanismen bei der plasmagestützten Abscheidung von Kohlenwasserstoffschichten, eine in situ Ellipsometriestudie (IPP 9/110). Garching: Max-Planck-Institut für Plasmaphysik.

Cite as: https://hdl.handle.net/11858/00-001M-0000-0027-61DA-B

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