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Wachstumsmechanismen bei der plasmagestützten Abscheidung von Kohlenwasserstoffschichten, eine in situ Ellipsometriestudie

MPS-Authors
/persons/resource/persons109597

Keudell,  A. von
Surface Science (OP), Max Planck Institute for Plasma Physics, Max Planck Society;

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Fulltext (public)

IPP_9_110.pdf
(Any fulltext), 41MB

Supplementary Material (public)
There is no public supplementary material available
Citation

Keudell, A. v.(1996). Wachstumsmechanismen bei der plasmagestützten Abscheidung von Kohlenwasserstoffschichten, eine in situ Ellipsometriestudie (IPP 9/110). Garching: Max-Planck-Institut für Plasmaphysik.


Cite as: http://hdl.handle.net/11858/00-001M-0000-0027-61DA-B
Abstract
There is no abstract available