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Die Rolle von Ionen und Radikalen bei der plasmagestützten Abscheidung amorpher wasserstoffhaltiger Kohlenstoffschichten

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IPP-9-106.pdf
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Citation

Lange, K.(1995). Die Rolle von Ionen und Radikalen bei der plasmagestützten Abscheidung amorpher wasserstoffhaltiger Kohlenstoffschichten (IPP 9/106). Garching: Max-Planck-Institut für Plasmaphysik.


Cite as: http://hdl.handle.net/11858/00-001M-0000-0027-6217-C
Abstract
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