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報告書

Innenbeschichtung eines Hohlleiters mit Hilfe einer ECR-Laufentladung

MPS-Authors
/persons/resource/persons109471

Hytry,  R.
Surface Science (OP), Max Planck Institute for Plasma Physics, Max Planck Society;

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フルテキスト (公開)

IPP-9-97.pdf
(全文テキスト(全般)), 34MB

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引用

Hytry, R.(1993). Innenbeschichtung eines Hohlleiters mit Hilfe einer ECR-Laufentladung (IPP 9/97). Garching: Max-Planck-Institut für Plasmaphysik.


引用: https://hdl.handle.net/11858/00-001M-0000-0027-637B-6
要旨
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