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Zeitschriftenartikel

Silver metal organic chemical vapor deposition for advanced silver metallization

MPG-Autoren
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Linsmeier,  C.
Material Research (MF), Max Planck Institute for Plasma Physics, Max Planck Society;

/persons/resource/persons110800

Wiltner,  A.
Material Research (MF), Max Planck Institute for Plasma Physics, Max Planck Society;

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Zitation

Gao, L., Härter, P., Linsmeier, C., Wiltner, A., Emling, R., & Schmitt-Landsiedel, D. (2005). Silver metal organic chemical vapor deposition for advanced silver metallization. Microelectronic Engineering, 82, 296-300.


Zitierlink: https://hdl.handle.net/11858/00-001M-0000-0027-1AC8-4
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