Deutsch
 
Hilfe Datenschutzhinweis Impressum
  DetailsucheBrowse

Datensatz

DATENSATZ AKTIONENEXPORT

Freigegeben

Zeitschriftenartikel

Metalorganic chemical vapor deposition of silver thin films for future interconnects by direct liquid injection system

MPG-Autoren
/persons/resource/persons109819

Linsmeier,  C.
Material Research (MF), Max Planck Institute for Plasma Physics, Max Planck Society;

Externe Ressourcen
Es sind keine externen Ressourcen hinterlegt
Volltexte (beschränkter Zugriff)
Für Ihren IP-Bereich sind aktuell keine Volltexte freigegeben.
Volltexte (frei zugänglich)
Es sind keine frei zugänglichen Volltexte in PuRe verfügbar
Ergänzendes Material (frei zugänglich)
Es sind keine frei zugänglichen Ergänzenden Materialien verfügbar
Zitation

Gao, L., Härter, P., Linsmeier, C., Gstöttner, J., Emling, R., & Schmitt-Landsiedel, D. (2004). Metalorganic chemical vapor deposition of silver thin films for future interconnects by direct liquid injection system. Materials Science in Semiconductor Processing, 7, 331-335. Retrieved from http://dx.doi.org/10.1016/j.mssp.2004.09.128.


Zitierlink: https://hdl.handle.net/11858/00-001M-0000-0027-20E6-4
Zusammenfassung
Es ist keine Zusammenfassung verfügbar