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Zeitschriftenartikel

Growth of metal newborn formations on cathode surface under influence of plasma flow

MPG-Autoren
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Bobkov,  V. V.
Technology (TE), Max Planck Institute for Plasma Physics, Max Planck Society;

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Bobkov,  Vl. V.
Technology (TE), Max Planck Institute for Plasma Physics, Max Planck Society;

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Zitation

Bobkov, V. V., Alimov, S. S., Bobkov, V. V., Slyusarenko, Y. V., & Starovoitov, R. I. (2003). Growth of metal newborn formations on cathode surface under influence of plasma flow. Surface and Coatings Technology, 174-175, 1271-1275. Retrieved from http://www.sciencedirect.com/science?_ob=MImg&_imagekey=B6TVV-490H26K-1-G&_cdi=5544&_orig=browse&_coverDate=10%2F31%2F2003&_sk=998259999&view=c&wchp=dGLbVzz-zSkzV&_acct=C000007558&_version=1&_userid=100196&md5=2f92687854ff859215834663834e0f4c&ie=f.pdf.


Zitierlink: https://hdl.handle.net/11858/00-001M-0000-0027-3D20-0
Zusammenfassung
The article presents results of the experimental studies and theoretical description of processes that occur during modification of a Cu cathode surface in the magnetron discharge in Ar. The experimentally observed cone-like microprotrusions are classified and possible mechanisms responsible for the growth of such formations with dimensions in the range 1–100 m are discussed. An analytical model is proposed for the experimentally observed phenomena of growth of the cone-like microprotrusions. We consider the case when a strong electric field in the cathode sheath of the discharge is taken into consideration during sputtering.