Bestimmung der Streu- und Haftungskoeffizienten von Kohlenwasserstoffmolekülen 
auf a-C:H-Schichten durch TRIM-Simulation

Stierle, V.

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Bestimmung der Streu- und Haftungskoeffizienten von Kohlenwasserstoffmolekülen auf a-C:H-Schichten durch TRIM-Simulation

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Stierle, V.
Material Research (MF), Max Planck Institute for Plasma Physics, Max Planck Society;

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Stierle, V. (2009). Bestimmung der Streu- und Haftungskoeffizienten von Kohlenwasserstoffmolekülen auf a-C:H-Schichten durch TRIM-Simulation. Bachelor Thesis, Ludwig-Maximilians-Universität München, München.

Cite as: https://hdl.handle.net/11858/00-001M-0000-0026-F34C-5

Abstract

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