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Zeitschriftenartikel

Sputtering Yields

MPG-Autoren
/persons/resource/persons109001

Eckstein,  W.
Material Research (MF), Max Planck Institute for Plasma Physics, Max Planck Society;

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Zitation

Eckstein, W. (2008). Sputtering Yields. Vacuum, 82(9), 930-934. doi:10.1016/j.vacuum.2007.12.004.


Zitierlink: https://hdl.handle.net/11858/00-001M-0000-0027-007A-7
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