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Synergismen bei der Erosion von amorphen Kohlenwasserstoffschichten mit niederenergetischen Teilchenstrahlen, eine In-Situ-Ellipsometriestudie

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Schlüter, M.(2008). Synergismen bei der Erosion von amorphen Kohlenwasserstoffschichten mit niederenergetischen Teilchenstrahlen, eine In-Situ-Ellipsometriestudie (IPP 17/8). Garching: Max-Planck-Institut für Plasmaphysik.


Cite as: https://hdl.handle.net/11858/00-001M-0000-0027-0181-B
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