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Mechanical and chemical investigation of the interface between tungsten-based metallizations and annealed borophosphosilicate glass

MPG-Autoren
/persons/resource/persons75388

Dehm,  Gerhard
Structure and Nano-/ Micromechanics of Materials, Max-Planck-Institut für Eisenforschung GmbH, Max Planck Society;

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Zitation

Völker, B., Heinz, W., Matoy, K., Roth, R., Batke, J. M., Schöberl, T., et al. (2015). Mechanical and chemical investigation of the interface between tungsten-based metallizations and annealed borophosphosilicate glass. Thin Solid Films, 583, 170-176. doi:10.1016/j.tsf.2015.03.047.


Zitierlink: http://hdl.handle.net/11858/00-001M-0000-0026-B626-5
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