Running discharge for PECVD inner coating of metal tubes

Hytry, R.; Möller, W.; Wilhelm, R.

doi:10.1016/0257-8972(95)08368-5

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Running discharge for PECVD inner coating of metal tubes

MPG-Autoren

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Möller, W.
Surface Science (OP), Max Planck Institute for Plasma Physics, Max Planck Society;

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Wilhelm, R.
Technology (TE), Max Planck Institute for Plasma Physics, Max Planck Society;

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Zitation

Hytry, R., Möller, W., & Wilhelm, R. (1995). Running discharge for PECVD inner coating of metal tubes. Surface & Coatings Technology, (1-3), 43-48. doi:10.1016/0257-8972(95)08368-5.

Zitierlink: https://hdl.handle.net/11858/00-001M-0000-0027-8E85-5

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