Revised formulae for sputtering data

Garcia-Rosales, C.; Eckstein, W.; Roth, J.

doi:10.1016/0022-3115(94)00376-9

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Revised formulae for sputtering data

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Garcia-Rosales, C.
Surface Science (OP), Max Planck Institute for Plasma Physics, Max Planck Society;

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Eckstein, W.
Surface Science (OP), Max Planck Institute for Plasma Physics, Max Planck Society;

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Roth, J.
Surface Science (OP), Max Planck Institute for Plasma Physics, Max Planck Society;

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Zitation

Garcia-Rosales, C., Eckstein, W., & Roth, J. (1995). Revised formulae for sputtering data. Journal of Nuclear Materials, 218(1), 8-17. doi:10.1016/0022-3115(94)00376-9.

Zitierlink: https://hdl.handle.net/11858/00-001M-0000-0027-8F71-9

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