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Buchkapitel

The role of ions the deposition of hydrocarbon films, investigated by in situ ellipsometry

MPG-Autoren
/persons/resource/persons109597

Keudell,  A. von
Surface Science (OP), Max Planck Institute for Plasma Physics, Max Planck Society;

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Zitation

Keudell, A. v. (1995). The role of ions the deposition of hydrocarbon films, investigated by in situ ellipsometry. In H. Atwater, J. Dickinson, & D. Lowndes (Eds.), Film Synthesis and Growth using Energetic Beams (pp. 355-366).


Zitierlink: https://hdl.handle.net/11858/00-001M-0000-0027-8F89-6
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