Does Preferential Sputtering Depend on the Angle of Incidence?

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学術論文

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Taglauer, E.
Surface Science (OP), Max Planck Institute for Plasma Physics, Max Planck Society;

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Baretzky, B., & Taglauer, E. (1985). Does Preferential Sputtering Depend on the Angle of Incidence? Surface Science, 162, 996.

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