Computer Simulation of Preferential Sputtering

Eckstein, W.; Moeller, W.

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学術論文

Computer Simulation of Preferential Sputtering

MPS-Authors

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Eckstein, W.
Surface Science (OP), Max Planck Institute for Plasma Physics, Max Planck Society;

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Moeller, W.
Surface Science (OP), Max Planck Institute for Plasma Physics, Max Planck Society;

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引用

Eckstein, W., & Moeller, W. (1985). Computer Simulation of Preferential Sputtering. Nuclear Instruments and Methods in Physics Research. B, 7/8, 727.

引用: https://hdl.handle.net/11858/00-001M-0000-0028-A349-8

要旨

要旨はありません