The Influence of the Ion Energy on the Growth and Structure of Thin Hydrocarbon 
Films

Reinke, P.; Jacob, W.; Moeller, W.

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公開

学術論文

The Influence of the Ion Energy on the Growth and Structure of Thin Hydrocarbon Films

MPS-Authors

/persons/resource/persons109489

Jacob, W.
Surface Science (OP), Max Planck Institute for Plasma Physics, Max Planck Society;

/persons/resource/persons109974

Moeller, W.
Surface Science (OP), Max Planck Institute for Plasma Physics, Max Planck Society;

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引用

Reinke, P., Jacob, W., & Moeller, W. (1993). The Influence of the Ion Energy on the Growth and Structure of Thin Hydrocarbon Films. Journal of Applied Physics, 74, 2, 1354-1361.

引用: https://hdl.handle.net/11858/00-001M-0000-0028-CBCD-F

要旨

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