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Journal Article

Nanolithographie mit selbstorganisierenden Masken

MPS-Authors
/persons/resource/persons76135

Spatz,  Joachim P.
Cellular Biophysics, Max Planck Institute for Medical Research, Max Planck Society;
Biophysical Chemistry, Institute of Physical Chemistry, University of Heidelberg, 69120 Heidelberg, Germany;

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Citation

Spatz, J. P., Möller, M., & Ziemann, P. (1999). Nanolithographie mit selbstorganisierenden Masken. Physikalische Blätter, 55(12), 49-52. doi:10.1002/phbl.19990551213.


Cite as: https://hdl.handle.net/11858/00-001M-0000-002C-46E7-1
Abstract
Die selbstorganisierende Anordnung von Makromolekülen auf Oberflächen ermöglicht es, Substrate mit anorganischen Clustern gezielt zu dekorieren. Dabei lassen sich Strukturgrößen von wenigen Nanometern erzielen. Dieses Verfahren bildet die Basis für eine Vielzahl fächerübergreifender Experimente und könnte in der Zukunft die herkömmlichen Lithographieverfahren ergänzen.