Zersetzung und Transport von Kohlenwasserstoffen und die Bildung von 
a-C:H-Schichten im Plasmagenerator

Bohmeyer, W.

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Zersetzung und Transport von Kohlenwasserstoffen und die Bildung von a-C:H-Schichten im Plasmagenerator

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Bohmeyer, W.
Plasma Diagnostics Group (HUB), Max Planck Institute for Plasma Physics, Max Planck Society;

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Bohmeyer, W. (2006). Zersetzung und Transport von Kohlenwasserstoffen und die Bildung von a-C:H-Schichten im Plasmagenerator. Talk presented at Bereichsseminar. Forschungszentrum Jülich, Institut für Plasmaphysik. 2006-09-05.

Cite as: https://hdl.handle.net/21.11116/0000-0000-17BB-4

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