Bestimmung des Haftkoeffizienten von niederenergetischen Kohlenwasserstoffionen

Tichmann, K.

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Bestimmung des Haftkoeffizienten von niederenergetischen Kohlenwasserstoffionen

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Tichmann, K.
Material Research (MF), Max Planck Institute for Plasma Physics, Max Planck Society;

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Tichmann, K. (2008). Bestimmung des Haftkoeffizienten von niederenergetischen Kohlenwasserstoffionen. Talk presented at XV. Erfahrungsaustausch Oberflächentechnologie mit Plasma- und Ionenstrahlprozessen. Mühlleithen. 2008-03-04 - 2008-03-06.

Cite as: https://hdl.handle.net/21.11116/0000-0000-1D87-8

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