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Wechselwirkung von atomarem Deuterium mit harten a-C:H Schichten: Isotopenaustausch, Aufhydrierung und Erosion

MPS-Authors
/persons/resource/persons110460

Schwarz-Selinger,  T.
Material Research (MF), Max Planck Institute for Plasma Physics, Max Planck Society;

/persons/resource/persons109489

Jacob,  W.
Material Research (MF), Max Planck Institute for Plasma Physics, Max Planck Society;

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Citation

Schwarz-Selinger, T., Oehrlein, G. S., & Jacob, W. (2009). Wechselwirkung von atomarem Deuterium mit harten a-C:H Schichten: Isotopenaustausch, Aufhydrierung und Erosion. Talk presented at XVI. Erfahrungsaustausch Oberflächentechnologie mit Plasma- und Ionenstrahlprozessen. Mühlleithen. 2009-03-10 - 2009-03-12.


Cite as: https://hdl.handle.net/21.11116/0000-0000-2371-9
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