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Chemical Sputtering: eine Einführung am Beispiel Kohlenstoff und Wasserstoff

MPS-Authors
/persons/resource/persons109489

Jacob,  W.
Plasma Edge and Wall (E2M), Max Planck Institute for Plasma Physics, Max Planck Society;

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Citation

Jacob, W. (2013). Chemical Sputtering: eine Einführung am Beispiel Kohlenstoff und Wasserstoff. Talk presented at XX. Erfahrungsaustausch Oberflächentechnologie mit Plasma- und Ionenstrahlprozessen. Mühlleithen. 2013-03-05 - 2013-03-08.


Cite as: http://hdl.handle.net/21.11116/0000-0000-67F6-7
Abstract
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