Velocity distribution of titanium neutrals in the target region of high power 
impulse magnetron sputtering discharges

Held, J.; Hecimovic, A.; Keudell, A. von; Schulz von der Gathen, V.

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Vortrag

Velocity distribution of titanium neutrals in the target region of high power impulse magnetron sputtering discharges

MPG-Autoren

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Hecimovic, A.
ITER Technology & Diagnostics (ITED), Max Planck Institute for Plasma Physics, Max Planck Society;

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Zitation

Held, J., Hecimovic, A., Keudell, A. v., & Schulz von der Gathen, V. (2019). Velocity distribution of titanium neutrals in the target region of high power impulse magnetron sputtering discharges. Talk presented at DPG-Frühjahrstagung 2019 der Sektion Materie und Kosmos (SMuK). München. 2019-03-17 - 2019-03-22.

Zitierlink: https://hdl.handle.net/21.11116/0000-0003-23EE-A

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