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Vortrag

3D Device Fabrication With Scanning Tunneling Hydrogen Resist Lithography

MPG-Autoren
/persons/resource/persons21747

Koch,  Matthias
Physical Chemistry, Fritz Haber Institute, Max Planck Society;

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Zitation

Koch, M. (2018). 3D Device Fabrication With Scanning Tunneling Hydrogen Resist Lithography. Talk presented at Seminar, Department of Physical Chemistry, University of Graz. Graz, Austria. 2018-03.


Zitierlink: https://hdl.handle.net/21.11116/0000-0004-6E3B-0
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