Influence of the excitation frequency on the RF power transfer efficiency of 
low pressure hydrogen ICPs

Rauner, D.; Briefi, S.; Fantz, U.

doi:10.1088/1361-6595/ab3d6a

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Influence of the excitation frequency on the RF power transfer efficiency of low pressure hydrogen ICPs

MPG-Autoren

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Rauner, D.
ITER Technology & Diagnostics (ITED), Max Planck Institute for Plasma Physics, Max Planck Society;
External Organizations;

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Briefi, S.
ITER Technology & Diagnostics (ITED), Max Planck Institute for Plasma Physics, Max Planck Society;

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Fantz, U.
ITER Technology & Diagnostics (ITED), Max Planck Institute for Plasma Physics, Max Planck Society;
External Organizations;

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https://doi.org/10.1088/1361-6595/ab3d6a
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Zitation

Rauner, D., Briefi, S., & Fantz, U. (2019). Influence of the excitation frequency on the RF power transfer efficiency of low pressure hydrogen ICPs. Plasma Sources Science and Technology, 28: 095011. doi:10.1088/1361-6595/ab3d6a.

Zitierlink: https://hdl.handle.net/21.11116/0000-0004-D7F4-6

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