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Hochschulschrift

Impact of feed gas impurities on N incorporation in SiC deposited in a CVD process

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Zitation

Lathiya, D. (2022). Impact of feed gas impurities on N incorporation in SiC deposited in a CVD process. Master Thesis.


Zitierlink: https://hdl.handle.net/21.11116/0000-000A-7507-B
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